中國半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會秘書長蒞臨沈陽科儀公司
6月19日，中國半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會秘書長徐小田，在沈陽市經(jīng)委于浩處長、沈陽國家高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)新加坡工業(yè)園管委會楊琦副主任等領(lǐng)導(dǎo)的陪同下，蒞臨沈陽科儀參觀指導(dǎo)。 沈陽科儀公司常務(wù)副總裁李昌龍、副總裁張振厚首先向徐秘書長簡要介紹了公司概況，隨后陪同來訪領(lǐng)導(dǎo)參觀了PECVD事業(yè)部和潔凈間。徐秘書長饒有興趣地聽取了PECVD事業(yè)部總經(jīng)理姜謙博士對PECVD設(shè)備研發(fā)進(jìn)展情況的介紹，并詳細(xì)詢問了設(shè)備的壽命實驗、市場銷售等情況。在參觀了IC裝備零部件等產(chǎn)品裝配現(xiàn)場后，徐秘書長建議在第六屆中國國際集成電路博覽會暨高峰論壇（IC China 2008）等展會上，對PECVD整機(jī)設(shè)備以及羅茨干泵（機(jī)組）、渦旋干泵、超高真空閘板閥等IC裝備關(guān)鍵部件做一個專題報告，進(jìn)一步推動IC裝備及零部件的國產(chǎn)化進(jìn)程。
