2008年8月20日下午，國家科技部副部長曹健林、科技部高新司副司長戴國強一行在遼寧省政府副秘書長馬祥圖、省科技廳廳長趙明鵬、省科技廳副廳長劉曉東、沈陽市副市長鄒大挺以及沈陽市科技局、沈陽市高新區(qū)、中科院沈陽分院領導的陪同下，蒞臨沈陽科儀，出席遼寧IC裝備研發(fā)及產(chǎn)業(yè)發(fā)展匯報會。沈陽科儀、沈陽自動化所等八家單位代表參會。
會議由省科技廳廳長趙明鵬主持，省科技廳副廳長劉曉東對遼寧省IC裝備發(fā)展現(xiàn)狀、加速推進IC裝備產(chǎn)業(yè)發(fā)展的措施、遼寧發(fā)展IC裝備的條件與優(yōu)勢、遼寧IC裝備未來發(fā)展與設想等方面向曹副部長進行了匯報，在感謝科技部領導對遼寧IC裝備產(chǎn)業(yè)發(fā)展給與重視的同時，希望得到科技部領導的繼續(xù)關注和支持。
隨后，曹健林副部長聽取了沈陽市副市長鄒大挺關于沈陽市IC裝備進展情況和人才隊伍建設情況的匯報。鄒副市長表示，近年來，沈陽市IC裝備產(chǎn)業(yè)已經(jīng)初步形成了集研發(fā)設計、生產(chǎn)加工于一身的行業(yè)體系，未來的規(guī)劃將緊跟國家步伐，與上海、北京等地協(xié)同發(fā)展，圍繞著國家重大專項的實施和新興產(chǎn)業(yè)的建設，走特色、優(yōu)勢之路。
遼寧省政府副秘書長馬祥圖、中科院沈陽分院副院長馬思也相繼代表遼寧省政府和沈陽分院發(fā)表講話，感謝科技部領導對遼寧省、沈陽市IC裝備產(chǎn)業(yè)發(fā)展的關注和支持，并表示將盡最大的努力做好配套支撐。曹健林副部長在總結講話中首先充分肯定了遼寧省近年來IC裝備產(chǎn)業(yè)取得的成績，并對遼寧省IC裝備產(chǎn)業(yè)發(fā)展提出了建議：第一，要做好關鍵技術攻關，下決心將關鍵技術本土化，像沈陽科儀PECVD這樣促進零部件本土化的項目，以后要加大力度支持；第二，要形成有效的競爭機制，發(fā)動全國同行業(yè)具有優(yōu)勢的單位共同攻克難題，協(xié)同發(fā)展；第三，要將我們的成果不斷地打入市場并盡快投入使用，促進國產(chǎn)化，給國人以信心；做好企業(yè)的聯(lián)合與合作，是促進產(chǎn)業(yè)發(fā)展的唯一出路。
針對沈陽地區(qū)發(fā)展 IC裝備產(chǎn)業(yè)，曹副部長也提出了幾點希望：首先，要定位準確，扎扎實實地做適合自身發(fā)展的設備，走適合自己的路；其次，要在物質(zhì)和精神上都做好長期作戰(zhàn)準備，經(jīng)受住來自時間、環(huán)境的各方面考驗；再次，要充分揚長避短，發(fā)揮自身的長項優(yōu)勢。此外，曹副部長也對地方政府提出了十分中肯的建議：要做好調(diào)研，知己知彼方能百戰(zhàn)不殆；要引進優(yōu)秀的外來企業(yè)，促進本地企業(yè)的發(fā)展，同時加強海外優(yōu)秀人才的引進；在資金方面，要競爭與“后補助”相結合，這是對企業(yè)最合適也是最負責任的做法；省市政府要做好相應的配套支撐。講話的最后，曹副部長表示，沈陽是我國IC裝備行業(yè)的重要力量，經(jīng)過幾年的努力，做到了國家經(jīng)濟建設與科技力量發(fā)展的良好結合，科技部將為推動遼沈地區(qū)IC裝備產(chǎn)業(yè)發(fā)展盡一份微薄之力，并期待共享收獲的喜悅。
曹健林副部長針對遼沈地區(qū)自身特點提出了務實可行的意見和建議，對遼沈地區(qū)IC裝備產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，具有重要的指導意義。（沈陽科儀公司供稿）
