由沈陽市副市長鄒大挺和渾南新區(qū)管委會主任黃凱帶隊，以沈陽IC裝備產(chǎn)業(yè)園為主體的沈陽IC裝備產(chǎn)業(yè)基地展團，組織10余家企業(yè)于2009年3月17至19日參加了在上海新國際博覽中心舉辦的“2009中國國際半導體設備與材料展覽會暨研討會”（SEMICON China2009）。
該展會由SEMI（國際半導體設備及材料協(xié)會）與中國電子商會共同主辦，是全球IC行業(yè)最重要的三大專業(yè)展會之一，是目前中國半導體設備、材料、制造和服務領域發(fā)布最新技術的重要平臺。此次展會囊括了當今世界上半導體制造領域主要的設備及材料廠商，展示了整個半導體產(chǎn)業(yè)鏈的全部產(chǎn)品。
由沈陽自動化所投資公司AMT公司發(fā)起承建的沈陽IC 裝備產(chǎn)業(yè)基地在沈陽市政府的支持下，取得了長足發(fā)展，并在超真空系統(tǒng)、PECVD、勻膠顯影設備、真空機械手、高精度零部件加工等領域取得了重大的突破。在本次展會上沈陽展團是參展的四個高新區(qū)中（揚州、武漢、大連）唯一以企業(yè)為主體，攜帶產(chǎn)品參展的展團。作為本次展會國內(nèi)唯一的由地方政府指導、產(chǎn)業(yè)集群企業(yè)為主體的展團，引起來自政府、業(yè)內(nèi)展商和專業(yè)人士的廣泛關注。（沈陽自動化所供稿）
