10月21日，上海證券交易所科創(chuàng)板上市委員會(huì)召開(kāi)了2019年第35次審議會(huì)議，根據(jù)審議結(jié)果顯示，中國(guó)科學(xué)院沈陽(yáng)自動(dòng)化研究所投資參股企業(yè)——沈陽(yáng)芯源微電子設(shè)備股份有限公司（以下簡(jiǎn)稱(chēng)“芯源公司”）首發(fā)獲通過(guò)，是中國(guó)科學(xué)院第一家科創(chuàng)板首發(fā)獲通過(guò)的公司。這意味著在不久的將來(lái)沈陽(yáng)自動(dòng)化所又一家投資參股企業(yè)將成為上市企業(yè)。
芯源公司成立于2002年，在17年的發(fā)展歷程中，秉承“市場(chǎng)引領(lǐng)，技術(shù)為本”的宗旨，不斷在半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域探索新的高度。目前，芯源公司擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，取得300余項(xiàng)核心技術(shù)專(zhuān)利，其自主開(kāi)發(fā)的單片勻膠機(jī)、顯影機(jī)、噴膠機(jī)、去膠機(jī)、濕法刻蝕機(jī)、清洗機(jī)等設(shè)備，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、先進(jìn)封裝、MEMS、LED等領(lǐng)域。研制的12英寸TRACK系統(tǒng)整機(jī)，已經(jīng)在12寸主流生產(chǎn)線(xiàn)應(yīng)用，擁有近百家業(yè)內(nèi)客戶(hù)，在LED勻膠顯影設(shè)備領(lǐng)域占領(lǐng)國(guó)內(nèi)市場(chǎng)份額超過(guò)60%。（科技處）
