10月21日，上海證券交易所科創(chuàng)板上市委員會召開了2019年第35次審議會議，根據(jù)審議結果顯示，中國科學院沈陽自動化研究所投資參股企業(yè)——沈陽芯源微電子設備股份有限公司（以下簡稱“芯源公司”）首發(fā)獲通過，是中國科學院第一家科創(chuàng)板首發(fā)獲通過的公司。這意味著在不久的將來沈陽自動化所又一家投資參股企業(yè)將成為上市企業(yè)。
芯源公司成立于2002年，在17年的發(fā)展歷程中，秉承“市場引領，技術為本”的宗旨，不斷在半導體裝備領域探索新的高度。目前，芯源公司擁有自主知識產(chǎn)權，取得300余項核心技術專利，其自主開發(fā)的單片勻膠機、顯影機、噴膠機、去膠機、濕法刻蝕機、清洗機等設備，廣泛應用于半導體、先進封裝、MEMS、LED等領域。研制的12英寸TRACK系統(tǒng)整機，已經(jīng)在12寸主流生產(chǎn)線應用，擁有近百家業(yè)內客戶，在LED勻膠顯影設備領域占領國內市場份額超過60%。（科技處）
